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【技术转让】一种基于滚珠定位的三自由度精密调节装置转让
  -------- 技术转让
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发布日期: 2018/7/6
项目编号: 160802 所属行业: 高新技术 获专利情况:
鉴定情况: 国家级 产权归属: 大专院校 转让价格: 面议
现处阶段: 产业化阶段 项目所在地: 浙江    
   
 

项目关键词:一种,基于,滚珠定位的,三自由度,精密调节装置,转让

技术转让简介:
【技术转让】一种基于滚珠定位的三自由度精密调节装置转让  
 
专利简介:
 本发明公开了一种基于滚珠定位的三自由度精密调节装置。该装置安装在浸没式光刻机的主框架和浸没单元之间,其安装基板和连接板之间通过三组相同的运动支链以并联方式相连,每组运动支链由安装基板到连接板方向依次由直线运动副、滚珠固定块、滚珠和两根导向圆柱组成,每组运动支链两侧各有一条预紧弹簧。本发明用以实现浸没式光刻机浸没单元的安装固定以及浸没单元空间位姿的精密调节,实现浸没单元亚微米级精密定位,预紧弹簧预紧力保证了滚珠与导向圆柱可靠接触,解决了传统运动副在微位移范围内存在间隙和爬行的问题,并联结构提高了系统的刚度,采用模块化设计,能用于浸没式光刻机以外其它场合下的三自由度精密调节。  




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