硅微型泵

　　 硅微型泵是一种重要的微致动器，是微型机械器件研究的热点之一。硅微型泵集MEMS技术和电致动技术于一体，具有体积小、重量轻、性能稳定可靠、使用方便、价格低廉等优点，可形成微型采样系统、微量注射系统、微型燃油喷射系统等产品，在临床医学、工业汽车、环境监测等领域具有广泛的应用前景。

 结构及原理

　　硅微型泵主要由压电泵膜、 泵腔于进出口阀组成，其结构如图所示。压电泵膜在外加电压的作用下产生形变，泵腔内的体积会随之发生变化，从而将流体从入口阀泵入，从出口阀泵出，完成流体的输送过程。

 技术指标
　　流速：0-900μL/min 　单次泵出量：270nL
　　精度：±5%
　　最大背压：50kPa
　　反向泄漏：<3000uL/min
 微量输送
　　用于精确、微量、安全可靠地输送特殊药物，如肝素、胰岛素、麻醉剂、血液、营养剂、荷尔蒙等，以提高药物的疗效和减小药物产生的副作用，实现药物输送的微型化和小型化。可形成微型输液泵、 微型注射泵、 微型镇痛泵产品（可用于术镇痛、 无痛分娩、 癌症镇痛），并可开发响应的微泵治疗系统（如糖尿病治疗重的胰岛素泵，以恒定的速率来注射微小剂量的胰岛素来维持病人的血糖浓度，以保证病人的生命安全）。

 微量采样
　　用于输液设备分析仪的微量采样、环境（污水等）实时检测的精密取样、化学分析前的进样等，其优点是微量、 精确、 体积小，易于集成

 微型喷射模块
　　可形成微型燃油喷射系统，该系统主要利用微泵技术将燃油雾化为微小油滴，在汽油引擎系统的适当位置进行喷射，以提升汽油引擎系统之燃烧效率和降低燃烧的污染排放。

 微型制冷系统
　　 利用硅微型微泵、微沟道循环系统、散热片、风扇可制造微型集成化的致冷系统。该体统具有体积小、价格低、性能稳定可靠等优点，可应用于微小空间的热量管理，在激光技术、食品加工、生物制药、IT等行业具有广泛的应用前景。